磁懸浮透平真空泵,采用飛旋5自由度主動磁懸浮軸承和高速永磁同步電機(jī),運(yùn)用全球領(lǐng)先的透平機(jī)械技術(shù)研制而成。
透平真空泵由高速永磁同步電機(jī)和高效三元流葉輪直連,無接觸,無摩擦,無需潤滑,徹底消除了傳動損失;葉輪采用鈦合金,經(jīng)過100%X射線探傷和115%超轉(zhuǎn)速實驗,確保高效可靠運(yùn)轉(zhuǎn);真空泵實現(xiàn)變頻智能化控制,可以實現(xiàn)就地和遠(yuǎn)程控制;整機(jī)采用一體化結(jié)構(gòu),布置緊湊,安裝便捷。